120k ультразвуковая установка для нанесения фоторезиста методом распыления с внешней подачей жидкости

120k ультразвуковая фоторезистентная распылительная машина с внешним жидкостным питанием

Пробки фоторезистной атомизации являются основным процессом в производстве полупроводников для получения точного фоторезистного покрытия.Ключевым принципом является преобразование фоторезистора в крошечные капли с помощью технологии атомизации, которые затем равномерно откладываются на поверхность пластины, отвечая требованиям покрытия высокоточных больших пластинок.

Основной принцип: жидкий фоторезист атомизируется в однородные капли в масштабе от нанометра до микрометра с использованием газового потока высокого давления или ультразвуковой вибрации.

Затем атомизированные капли транспортируются направленным потоком газа, образуя тонкое и равномерное покрытие на поверхности пластины, с точно контролируемой толщиной на уровне нанометров.

Ключевые преимущества: высокая однородность покрытия, избежание дефектов толщины краев и центральной тонкости спин-покрытия, удовлетворение требований передовых процессов.

Высокая фоторезистентность, снижение отходов материалов более чем на 50% по сравнению со спин-покрытием, снижение затрат на производство.

Подходит для больших пластин (например, 12 дюймов и выше) и сложной топографии поверхности, что приводит к более сильной консистенции покрытия.

Какой параметр распылителя?

У тебя есть фотографии с насадкой?

Ультразвуковая наноатомизация использует ультразвуковую энергию для преобразования жидкостей в частицы наноразмера.Ниже приведено подробное описание:

Принцип
В медицине: Ультразвуковой генератор обычно генерирует высокочастотный ток, который преобразуется в ультразвуковые волны с помощью ультразвукового преобразователя.Этот ток затем действует на жидкость через ультразвуковую мембрану в нижней части атомизатораНаконец, воздушный поток, генерируемый устройством подачи воздуха, доставляет лекарственный туман пациенту для вдыхания.
В промышленности: Ультразвуковой соприкосновение преобразует высокочастотные звуковые волны в механическую энергию, которая передается в жидкость, создавая стоячие волны.Затем жидкость направляется через сопла на поверхность атомизацииПосле выхода из поверхности атомизации жидкость разбивается в равномерный туман микроновых капель, тем самым достигая атомизации.

Особенности
Медленные и равномерные частицы: порождаемые атомизированные частицы обычно имеют диаметр от 1 до 5 микронов, остаются в воздухе в течение длительного периода времени и относительно равномерно распределены.В медицинской сфереВ промышленной области он может достичь высокоравномерных субмикроновых и наномасштабных тонких пленочных покрытий.Высокая эффективность и экономия энергии: жидкость переносится в распылительную сопла при помощи гравитации или насоса низкого давления, достигая непрерывной или периодической атомизации.и не имеет движущихся частейДля атомизации не требуется охлаждающая вода, что обеспечивает низкое потребление энергии.

Материал и экологически чистый: не под давлением, низкоскоростной распыление легко контролируется, и капли приземляются на субстрат, а не отскакивают от него, значительно уменьшая перераспыление,значительная экономия материалов и сокращение выбросов в окружающую среду.

Высокая управляемость: точно контролируемый поток атомизации, непрерывное распыление с низким потоком и легко контролируемые и формованные шаблоны распыления делают его подходящим для промышленных применений.С помощью комбинации, объем атомизации может быть адаптирован для удовлетворения любых требований пользователя.
Медицинское: например, ультразвуковые аппараты для атомизации глаз используют эту технологию для разложения лекарств на наноразмерные атомированные частицы для лечения сухости глаза и блефарита.Эта технология способствует поглощениюУспокаивает симптомы сухости глаз и улучшает микроциркуляцию.Технология ультразвуковой атомизации с помощью нанопузырей может напрямую атомизировать лекарства и нанопузыри в тонкие аэрозоли, увеличивая отложение в легких и используется для лечения таких состояний, как кисты легких.

Промышленное применение: топливные элементы, тонкопленочные фотоэлектрические элементы, тонкопленочные солнечные покрытия, перовскитные солнечные элементы, графиновые покрытия, стеклянные покрытия и электронные схемы,позволяет использовать высокоравномерные тонкопленочные покрытия в субмикронных и нанометровых масштабах.

Ландшафтный дизайн: в ландшафтных садах и коммерческих помещениях ультразвуковые атомизационные модули могут создавать эффект тумана, увеличивая влажность воздуха и улучшая микроклимат в помещении.Они также могут быть объединены с световыми эффектами для создания зрелищного, цветопеременчивое шоу тумана.

Как ультразвуковые распылители сравниваются с традиционными распылителями с точки зрения эффективности?
Ультразвуковые распылители превосходят традиционные распылители по общей эффективности, особенно для высокоточных сценариев покрытия, таких как фоторезистентное применение.

Основные преимущества ультразвуковых распылителей

Более высокое использование материала: они атомизируют фоторезист в микро/нанокапли однородного размера, уменьшая отходы на 30~60% по сравнению с традиционными соплами (например,нагнетаемые типы) которые часто производят неравномерные капли или перераспыливание.
Высокая однородность покрытия: ультразвуковая вибрация обеспечивает последовательное распределение капель, минимизируя изменения толщины (обычно в пределах ± 5% против ± 10 ~ 15% для традиционных сосудов),который уменьшает переработку и улучшает производительность процесса.
Более низкое потребление энергии: Ультразвуковая атомизация основана на высокочастотных вибрациях, а не на высоком давлении или воздушном потоке, сокращая потребление энергии на 20-40%, сохраняя при этом эффективность распыления.

Ограничения, относящиеся к традиционным сосудам

Более узкое применение для материалов с высокой вязкостью: традиционные нагнетательные сосуды более эффективно обрабатывают более толстые жидкости, тогда как ультразвуковые типы лучше всего работают с фоторезистами с низкой или средней вязкостью.
Более высокие первоначальные затраты: Ультразвуковые сосуды имеют более высокие первоначальные инвестиции, хотя это компенсируется долгосрочной экономией материала и энергии в массовом производстве.

Ультразвуковые распылители имеют несколько преимуществ по сравнению с традиционными распылителями с точки зрения эффективности.

1. Эффективность атомизации: Ультразвуковые распылители очень эффективно атомизируют жидкости в мелкие капли.

2. Уменьшение перераспыления: традиционные распылители часто производят значительное количество перераспыления, что относится к потере жидкости, которая не достигает намеченной цели.

3. Качество покрытия: Ультразвуковые распылители особенно полезны в применениях, где требуется высококачественное покрытие.

4. Экономия материалов: Ультразвуковые распылители из-за их эффективной атомизации и уменьшенного перераспыления могут помочь сэкономить на расходах на материалы.

5. Универсальность: Ультразвуковые распылители могут обрабатывать широкий спектр жидкостей, включая растворы на водной основе, растворители, суспензии и вязкие жидкости.

Стоит отметить, что традиционные распылители имеют свои преимущества в определенных сценариях, таких как приложения с высоким потоком или ситуации, когда требуются большие капли.Выбор между ультразвуковыми распылителями и традиционными распылителями зависит от конкретных требований применения и желаемого результата с точки зрения эффективности., качество покрытия и экономия материалов.

Можете ли вы привести примеры отраслей промышленности или применения, где ультразвуковые распылители обычно используются?

 

Ультразвуковая система распыления
Ультразвуковое оборудование для распыления имеет самоочищающее устройство, которое может избежать загрязнения внутренней стенки трубки сбора крови во время процесса распыления.и может также избежать загрязнения собственной соплаУльтразвуковая система распыления может запрограммировать количество, расстояние, толщину и другие параметры распыления,чтобы обеспечить точность эффекта распыленияУльтразвуковое оборудование для распыления может сэкономить сырье, а уровень использования сырья достигает 85%.Промышленные ультразвуковые атомизаторы могут быть легко встроены в существующие производственные линии для эффективного распыления с постоянным качеством выпуска.

Как промышленно проверенная технология,Ультразвуковое распыление успешно применяется к высокопроизводительным тонкопленочным линиям покрытия в производстве высокоточной электроники, такой как полупроводникиПри ультразвуковом распылении можно точно контролировать размер и распределение капель.в результате чего образуются частицы с большой поверхностью.

Вы можете предоставить рабочее видео на разбрызгивающей насадке?